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其實現技術多種多樣，包括：機械光開關、熱光開關、聲光開關、電光開關、磁光開關、液晶光開關和MEMS光開關等。傳統的以電為核心的開關逐漸的不能滿足高速大容量光通信的需求， 慢慢的市場上出現了全光開關。其中MEMS光開關具有尺寸小、功耗低和擴展性好的特點，因而得到廣泛的應用。

什么是MEMS？MEMS （Micro－Electro－Mechanical System）是指將微型機械、微型執行器、信號處理和控制電路等集于一體的可批量制作的微型器件或系統，微機械結構的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結構上制備了電極，以便通過電子技術進行控制。

MEMS是一種微電機系統，在制備微機械結構之后，需要以電子技術進行驅動。典型的驅動機制包括靜電引力、電磁力、電致伸縮和熱電偶。在MEMS器件的所有驅動機制中，靜電引力結構因制備簡單、易于控制和低功耗，得到較廣泛的應用。

MEMS光開關是在硅晶上刻出若干微小的鏡片，通過靜電力或電磁力的作用，使微鏡陣列產生轉動，從而改變輸入光的傳播方向以實現光路通斷的功能。MEMS光開關切換光波路由是通過外部控制信息以及相應的高低電平控制內部微鏡片抬升與否來完成的。

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